전자부품
반도체 공정 효율↑ 고내열 정전척 전극층 개발
기술분야
반도체 공정 장비
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AI요약
기존 정전척은 반복되는 가열/냉각으로 인한 열 응력과 낮은 열전도성으로 수명 단축 및 생산 효율 저하 문제가 있었습니다. 본 기술은 알루미늄 및 탄소계 나노 재료를 활용한 클래드재 전극층 제조 방법을 제안합니다. 이를 통해 고열전도성, 내열충격성, 경량성을 갖춘 정전척을 구현하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 효율을 획기적으로 개선합니다. 이 정전척은 기존 제품 대비 3배 높은 열전도성 및 300% 향상된 인장강도를 제공하며, 단순화된 공정으로 경제성까지 확보하였습니다. 본 기술로 귀사의 반도체 생산 혁신을 이루십시오.
기본 정보
| 기술 분야 | 반도체 공정 장비 |
| 판매 유형 | 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
기술 상세 정보
| 기술명 | |
| 클래드재 전극층을 포함하는 정전척의 제조방법 및 이에 의해 제조된 정전척 | |
| 기관명 | |
| 국립부경대학교 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 권한상 | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020210060214 | 1025484450000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2021.05.10 |
| 중요 키워드 | |
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기술완성도 (TRL)
기본원리 파악
기본개념 정립
기능 및 개념 검증
연구실 환경 테스트
유사환경 테스트
파일럿 현장 테스트
상용모델 개발
실제 환경 테스트
사업화 상용운영
기본원리
파악
기본개념
정립
기능 및 개념
검증
연구실 환경
테스트
유사환경
테스트
파일럿 현장
테스트
상용모델
개발
실제 환경
테스트
사업화
상용운영
기술 소개
매도/매수 절차
기술이전 상담신청
연구자 미팅
기술이전 유형결정
계약서 작성 및 검토
계약 및 기술료 입금
문의처
한국기술마켓
담당자한국기술마켓
이메일jee-yk@kotechmarket.com
문의처070-8065-4613
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